Politechnika Łódzka

Katedra Przyrządów Półprzewodnikowych
                          i Optoelektronicznych

Mikrostruktury 3-D na podłożach krzemowych

Opis projektu:

Budowa krzemowych mikrostruktur przestrzennych (np. struktur MEMS - Micro Electro-Mechanical Systems) opiera się na technologiach stosowanych podczas wytwarzania przyrządów półprzewodnikowych i układów scalonych, uzupełnionych technikami głębokiej mikroobróbki krzemu. Kluczowe znaczenie dla budowy krzemowych struktur przestrzennych ma opanowanie anizotropowego trawienia krzemu monokrystalicznego, które pozwala na wytwarzaniem podstawowych struktur przestrzennych, takich jak membrana, belka, otwór, kanał, ostrze, powierzchnia o podwyższonej absorpcji promieniowania świetlnego (odwrócone piramidy). Głęboka obróbka podłoży krzemowych najczęściej realizowana jest za pomocą trawienia mokrego w wodnych roztworach alkalicznych.
Celem zadania jest wykonanie i obserwacja wybranych mikrostruktur przestrzennych w krzemie monokrystalicznym.
Plan pracy:
  • poznanie procesów głębokiego, anizotropowego trawienia krzemu metodami mokrymi oraz metod charakteryzacji potrzebnych do realizacji zadania (mikroskopia optyczna, profilometria)
  • dobór podłoży krzemowych o właściwej orientacji krystalograficznej
  • przygotowanie warstw maskujących z tlenku krzemu o dużej grubości, wykonanie procesu fotolitografii z użyciem dostępnych masek,
  • przygotowanie roztworu trawiącego (dobór właściwego składu i temperatury)
  • przeprowadzenie procesów trawienia wybranych struktur przestrzennych i ich obserwacja mikroskopowa.
Liczba wykonawcow projektu: 3
Opiekun projektu:
   
Wykonawcy projektu:
Piotr Kraska
Marcin Nowacki
Tobiasz Wojtania

powrót

copyright (c) 2009